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ACU20P
高精度壓力控制器(底部進氣)
型號:ACU20P-LC
產品介紹
    ACU20P高精度壓力控制器采用底部進氣設計,適用于安裝空間受限的應用場景,可有效節省安裝布局空間。產品配備C型密封結構,可實現高精度的壓力控制與長期穩定性。
產品應用

應用領域:半導體生產、科研實驗、生物醫藥、能源化工、泄漏測試、燃料電池、真空鍍膜及過程控制等。

資料下載

下載
  • 一、產品概述


      ACU20P系列壓力控制器/壓力計為直通式設計,測量范圍從100KPa到10MPA(絕壓和表壓皆可)。此外,還提供差壓變送器。該系列儀表精確度高、重復性好,分為前壓控制和背壓控制兩種。

     ACU20P系列標配一個壓力傳感器和數字電路板,提供高精度、快速穩定、可靠的壓力控制,該PC數字板具有控制壓力所需的所有功能。除了配備標準的RS485輸出信號,ACU20P還提供模擬量輸入/出信號,可通過調節設定值就能精準的控制整個工藝過程。ACU20P系列壓力控制器可裝配一體式控制閥或分體式控制閥。它是一種比例式電磁控制閥,具有超快和平穩控制的特性。



    二、產品應用


    應用領域:半導體工藝,氣相和液相色譜儀,MOCVD過程中蒸汽壓力控制,擠塑成型過程中氣體壓力保護控制,高壓釜/反應釜壓力控制等。


    三、產品參數


    技術參數 精度(包括線性和滯后性) ±0.5%F.S
    壓力控制器 1:50
    重復精度 ±0.2%F.S
    傳感器響應時間 0.2s
    控制穩定性 ≤±0.05%F.S(測定條件:1 L/min N2)
    運行溫度 5~50℃(精度保證溫度范圍15~40℃)
    溫度敏感性 0.1%FS/℃
    漏率 1×10-9 SCCS He
    方位影響度
    (90°變化)
    <0.03 KPa(絕壓/表壓傳感器)
    <0.6 KPa(差壓傳感器)
    預熱時間 忽略不計
    機械部件 材質 不銹鋼
    工藝連接 1.125 C-seal
    密封材質 金屬密封、氟橡膠等
    防護等級(外殼) IP40
    電氣特性 電源 ±15VDC、24VDC
    數字輸出 Modbus協議(RS232/485 )、Profibus協議、EtherCAT協議、 Profinet協議
    電氣連接 DB9孔、RJ11



    四、產品尺寸圖




    五、可選配套測控軟件 (另外收取費用)

            質量流量測控系統V5.0




  • ACU20P壓力控制器 選型表                    (添加  11048 69159 、29145 69088 或    186 1279 0707  、186 1279 0733 幫您選型)


    系列號
    ACU20P 
    產品類型 【C】壓力控制器             【M】壓力計
    壓力類型 【A】絕壓                       【G】表壓
    耐壓范圍 【M】3MPa                     【Z】10MPa(僅限壓力計)
    現場顯示狀況 【N】不帶液晶顯示          【X】帶液晶顯示
    壓力范圍

    【300K】300KPa        【500K】500KPa 

    被測介質 詳見密度參照表
    流量輸入信號 【A1】0~5VDC               【A2】4~20mA            【A3】1~5VDC
    輸出信號 【B1】0~5VDC               【B2】4~20mA            【B3】1~5VDC
    供電電壓 【5】±15VDC                 【4】24VDC
    通訊方式 【8】RS485                    【2】RS232                 【P】profibus
    密封材質 【V】氟橡膠                   【T】丁腈橡膠             【N】氯丁橡膠              【Y】其他
    使用接頭 【A】φ3                         【B】φ6                      【F】1/8"                     【G】1/4"                 【Y】其他與廠家聯系
    選型舉例 ACU20P    M    A    M    N    100K    007    A1    B1    5    8    V    E